本公开是关于一种半导体制程工艺配方管理方法与系统，该配方管理方法包括：建立一标准数据集，所述数据集包括多组参考工艺数据，每组参考工艺数据包括多个预设参考工艺参数；建立各组所述参考工艺数据与多个参考机台的对应关系，每组参考工艺数据对应一个参考机台和一个参考配方；获取至少一个参考配方；选择与所述参考配方匹配的配方作为目标配方，并选择与所述目标配方对应的参考工艺数据作为目标工艺数据。本公开提供的半导体制程工艺配方管理方法与系统，节省了人力成本，且提高了配方工艺参数设定的效率，保证了配方工艺参数设定的准确性。