本发明提供一种含氟芳香二胺类化合物及其制备方法、含氟聚酰亚胺化合物及其制备方法。含氟芳香二胺类化合物，其结构通式为：其制备方法包括：将包括化合物A和化合物B在内的物料混合后进行第一反应得到化合物C，然后将化合物C进行加氢反应即可。含氟聚酰亚胺化合物，其原料包括含氟芳香二胺类化合物。其制备方法包括：将包括所述含氟芳香二胺类化合物和二酐类化合物在内的物料混合得到混合物，然后进行第六反应得到前聚体；将所述前聚体进行脱水环化反应，后处理得到所述含氟聚酰亚胺化合物。使用本申请提供的含氟芳香二胺类化合物制得的聚酰亚胺化合物，溶解性好，具有较高的透过率及良好的机械性能。