发明公开
摘要：
本发明公布了一种半柔性伸缩一体阀压电泵，包括紧固螺母、泵体、螺栓孔、密封圈，压电振子、泵盖、紧固螺栓、出液口、半柔性伸缩阀、密封槽、进液口；所述泵体开设进液口和出液口和出口管；所述半柔性伸缩一体阀压电泵，利用压电振子的往复振动产生体积变化，不断吸水与排水，同时利用半柔性伸缩阀的作用，输送流体，定向移动；本发明半柔性伸缩一体阀压电泵：流量大，液体输送稳定，适用于机械润滑及微机械冷却领域等。
公开/授权文献
- CN112177919B 一种半柔性伸缩一体阀压电泵 公开/授权日：2022-11-29
