- 专利标题: 利用ECR氩等离子体溅射法制备的亲油/疏水油水分离碳膜及其制备方法和应用
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申请号: CN202010888295.6申请日: 2020-08-28
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公开(公告)号: CN112176283B公开(公告)日: 2021-12-28
- 发明人: 杨雷 , 辛少杉 , 陈思成 , 耿江
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 范巍
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; C23C14/06 ; C23C14/35
摘要:
本发明公开了一种利用ECR等离子体溅射法制备的亲油/疏水油水分离膜及其制备方法和应用。其具体制备过程为:将双通阳极氧化铝模板放入等离子体腔体中,将腔体内抽真空,通入氩气;通过施加磁线圈电流和微波,得到高离化率、高密度的氩等离子体;随后给碳靶施加直流偏压、基片偏压,等离子体中的氩离子带动碳原子向双通阳极氧化铝模板运动并沉积在双通阳极氧化铝模板表面形成亲油/疏水油水分离碳膜。本方法制备的亲油/疏水油水分离碳膜与双通阳极氧化铝模板结合力强,从而很大程度上避免亲油/疏水油水分离碳膜的脱落、延长其使用寿命。
公开/授权文献
- CN112176283A 利用ECR氩等离子体溅射法制备的亲油/疏水油水分离碳膜及其制备方法和应用 公开/授权日:2021-01-05
IPC分类: