本发明为一种五级磷酸盐化成工艺。一种五级磷酸盐化成工艺，包括：(1)高温水煮；(2)预处理；(3)一级化成；(4)二级化成；(5)三级化成；(6)四级化成；(7)五级化成；(8)一次烧片；(9)一次修复处理；(10)中处理；(11)二次修复处理；(12)二次烧片；(13)三次修复处理；(14)后处理；(15)干燥。本发明提供一种五级磷酸盐的化成工艺，其在一至五级化成中都引入磷酸盐，并在一级化成前增加一道预处理工序，具有耐水合能力强和漏电流低的优点。