本发明提出了一种全数字高频腔体打火检测装置，包括两路腔体取样信号、该两路腔体取样信号输入到FPGA后进行后续的数字化处理，一路腔体取样信号输入到FPGA后进行幅度和相位控制、整个信号路径为一个环；另一路腔体取样信号经过比较器形成方波信号2，输入到FPGA的计数器2中进行计数；FPGA内设有一个与输出RF信号同频率的DDS1作为伴随信号，该伴随信号经过比较器后形成方波信号1、输入到FPGA的计数器1中进行计数，所述计数器1和计数器2共享一个使能信号、该使能信号来自一个FPGA内的D触发器，所述计数器1和计数器2的输出端连接打火比较器；本发明解决了采用模拟检测器检测时容易误触发、传统模拟电路温度漂移，以及采用传统FPGA计算信号幅度耗时长的问题。