发明授权
- 专利标题： DC和RF信号的多电平脉冲化
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申请号： CN201980020863.6申请日： 2019-03-15
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公开(公告)号： CN111886671B公开(公告)日： 2023-11-28
- 发明人: 朱莱恩·休布 , 亚历克斯·帕特森 , 吴垠
- 申请人： 朗姆研究公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海胜康律师事务所
- 代理商 李献忠; 邱晓敏
- 优先权： 15/928,029 2018.03.21 US
- 国际申请： PCT/US2019/022455 2019.03.15
- 国际公布： WO2019/182890 EN 2019.09.26
- 进入国家日期： 2020-09-21
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
摘要：
描述了用于射频(RF)信号的参数的多电平脉冲化和频率的多电平脉冲化的系统和方法。RF信号通过匹配器被施加到衬底支撑件。参数从低电平脉冲化到高电平，同时频率从低电平脉冲化到高电平。另外，将直流(DC)参数施加到衬底支撑件或将另一RF信号施加到上电极。施加到衬底支撑件的RF信号的参数和频率与施加到上电极的DC参数或RF信号同时脉冲化，以提高晶片的处理速度，增大掩模的选择性并减小等离子体室内的离子的角展度。
公开/授权文献
- CN111886671A DC和RF信号的多电平脉冲化 公开/授权日：2020-11-03
