基于模式滤波器的硅基磁光隔离器及制备方法
摘要:
一种基于模式滤波器的硅基磁光隔离器,包括模式滤波器以及法拉第旋光器,模式滤波器采用嵌入透明导电氧化物层的条形硅波导结构,法拉第旋光器采用条形磁光材料结构;正向传输的横电场模的输入信号从模式滤波器输入,在通过模式滤波区之后,进入法拉第旋光器并实现45°的偏振旋转后输出;被反射的反向传输光从法拉第旋光器输入,进入法拉第旋光器沿原方向继续旋转45°,共旋转90°后反向传输光由横电场模变为了横磁场模,进入模式滤波器的滤波区时,被透明导电氧化物层损耗,从而实现了反向传输光的隔离。本发明具有隔离度高,插入损耗低,器件尺寸小,易于CMOS集成等特点。
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