本发明根据实际使用的GIS设备，以其正常的工作压力为基准，在GIS设备允许的压力波动范围内，先将湿度超标的SF6气体导出至初级缓冲罐中，后经气体干燥设备干燥、压缩机增压后送至次级缓冲罐中，最后重新导入至GIS设备内，通过多次循环过程实现GIS设备内湿度超标的SF6的在线处理。本发明在SF6气体不断导出、干燥和导入的循环过程中严格控制GIS设备内的压力波动，以保证在不停电条件下的GIS设备内SF6湿度超标在线处理，方法简单可靠，且不影响GIS设备的安全稳定运行。