发明授权
- 专利标题： 载流子寿命测定方法及载流子寿命测定装置
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申请号： CN201980013234.0申请日： 2019-01-17
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公开(公告)号： CN111712908B公开(公告)日： 2023-04-18
- 发明人: 中村共则
- 申请人： 浜松光子学株式会社
- 申请人地址： 日本静冈县
- 专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本静冈县
- 代理机构： 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦; 黄浩
- 国际申请： PCT/JP2019/001341 2019.01.17
- 国际公布： WO2019/159595 JA 2019.08.22
- 进入国家日期： 2020-08-13
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66 ; G01N21/00
摘要：
本发明为测量测定对象物中的载流子寿命的载流子寿命测定方法，其具备：照射步骤，其朝向作为测定对象物的DUT(10)，照射测量光、及以多个频率进行强度调制所得的刺激光；输出步骤，其检测来自DUT(10)的反射光或透过光的强度并输出检测信号；及产生步骤，其检测相对于包含多个频率中的对应于测量对象区域的杂质浓度的频率的调制信号的检测信号的相位延迟，并基于相位延迟，产生表示DUT(10)中的载流子寿命的分布的图像数据。
公开/授权文献
- CN111712908A 载流子寿命测定方法及载流子寿命测定装置 公开/授权日：2020-09-25
IPC分类:
