柔性温度传感器及其制备方法及应用
摘要:
本发明公开了一种柔性温度传感器,其包括:柔性衬底;设置在柔性衬底上的有源层;源极;漏极;覆盖有源层上的介电层;以及设置在介电层上的栅极;所述有源层的材料为复合丝基碳纳米纤维;所述复合丝基碳纳米纤维包括丝基碳纳米纤维、以及分布在丝基碳纳米纤维表面的Ag纳米颗粒。上述柔性温度传感器,采用纳米结构的OFET进行传感,尺寸微小,有利于细胞微环境的温度传感;其生物相容性好,不对细胞产生毒性从而影响细胞的存活率;其灵敏度高,更适合对细胞级操作;其采用柔性材料,既保证了在一定应变下温度的传感稳定性和准确性,又避免了在移动中碰撞损坏细胞。本发明还提供了柔性温度传感器的制备方法及其应用。
公开/授权文献
0/0