本发明公开一种数据集成存储系统和光刻机系统，其中数据集成存储系统包括：元数据管理单元、模板定制单元、模板应用单元、模板解释单元、XML文档解析单元和内存数据库；模板应用单元用于接收模板定制单元输入的数据对象模板，以及接收用户根据数据对象模板输入的业务信息，形成具有业务信息的数据对象；模板解释单元用于将模板信息和业务信息转换为第一XML格式文档；XML文档解析单元用于将每个第一XML格式文档解析为对应的第二XML格式文档，并根据第二XML格式文档中的模板信息将第二XML格式文档写入到内存数据库。通过引入XML作为对异构数据进行数据描述的标准工具，可以实现光刻机异构数据的融合，提高了设备数据集成度，给数据处理、分析提供了便利。