- 专利标题: 一种鳍型结构的功率MOSFET及其制备方法
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申请号: CN202010109407.3申请日: 2020-02-22
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公开(公告)号: CN111312821B公开(公告)日: 2022-07-05
- 发明人: 黄平 , 鲍利华 , 顾海颖
- 申请人: 上海朕芯微电子科技有限公司
- 申请人地址: 上海市奉贤区青村镇钱桥路756号1363室
- 专利权人: 上海朕芯微电子科技有限公司
- 当前专利权人: 上海朕芯微电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市奉贤区青村镇钱桥路756号1363室
- 代理机构: 上海天翔知识产权代理有限公司
- 代理商 吕伴
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L21/336 ; H01L29/06 ; H01L29/10
摘要:
本发明公开了一种鳍型结构的功率MOSFET,包括衬底、成型在衬底正面上的外延层、若干间隔且平行成型在所述外延层上的鳍型硅墙、成型在所述相邻鳍型硅墙之间的掺杂多晶硅层、成型在掺杂多晶硅层正面上且位于相邻鳍型硅墙之间的BPSG层以及覆盖在鳍型硅墙顶部和BPSG层顶部的金属布线层;鳍型硅墙包含成型在所述衬底正面上的外延硅片层、成型在所述外延硅片层上的P‑Well层和成型在所述P‑Well层正面的N+区域或/和P+区域;所述N+区域或/和P+区域用金属布线层连接。本发明还公开了该鳍型结构的功率MOSFET的制备方法。本发明极大缩小之前传统功率MOSFET多晶硅Trench之间的距离。
公开/授权文献
- CN111312821A 一种鳍型结构的功率MOSFET及其制备方法 公开/授权日:2020-06-19
IPC分类: