- 专利标题: 用于获得在载体基板上重构的发光二极管的方法
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申请号: CN201911250976.3申请日: 2019-12-09
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公开(公告)号: CN111293204B公开(公告)日: 2024-09-17
- 发明人: A·米特雅辛 , S·斯台德
- 申请人: IMEC 非营利协会
- 申请人地址: 比利时勒芬
- 专利权人: IMEC 非营利协会
- 当前专利权人: IMEC 非营利协会
- 当前专利权人地址: 比利时勒芬
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 杨洁; 蔡悦
- 主分类号: H01L33/48
- IPC分类号: H01L33/48 ; H01L27/15
摘要:
本发明涉及发光二极管(LED)器件,尤其是微型LED(μLED)器件的技术领域。在该领域中,本发明具体提出了一种用于获得在载体基板上重构的一个或多个LED器件的方法。该方法包括:提供硅基半导体基板作为载体基板,为一个或多个LED器件的每一者提供包括LED层的化合物半导体堆叠,分别将SiCN层施加到堆叠和基板;将堆叠粘合到基板,其中被施加到堆叠的SiCN层和被施加到基板的SiCN层相接触;以及在粘合之后,以等于或高于用于从堆叠完成LED器件的处理温度的温度对经粘合的堆叠和基板进行退火,其中所述温度为至少400℃。
公开/授权文献
- CN111293204A 用于获得在载体基板上重构的发光二极管的方法 公开/授权日:2020-06-16
IPC分类: