一种可图形化的宽波段吸收器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种可图形化的宽波段吸收器及其制备方法,包括:(1)根据所需的吸收器带宽和吸收率,对吸收器进行模拟仿真,并优化吸收器中各层薄膜的厚度,以设计获得所需波段的宽波段吸收器;(2)清洗基底,按照设计的各层薄膜的厚度,采用真空镀膜依次在所述基底上沉积金属吸收层、介质‑金属膜堆以及保护层;(3)在所述保护层上依次进行光刻胶旋涂、曝光、显影后,将掩模板图形转移到光刻胶上,以实现宽波段吸收器的图形化;(4)利用氢氟酸缓释液腐蚀去除掉暴露在遮挡胶膜外的保护层,利用铬腐蚀液腐蚀去除保护层下的介质‑金属膜堆和吸收层,以获得可图形化的宽波段吸收器。该方法制备方便,成本低,便于批量化生产。
公开/授权文献
0/0