滤光器、滤光器系统、光谱仪及其制造方法根据本发明的实施例，提供了一种纳米结构化光学波长透射过滤器。滤光器包括图案化基底，在所述图案化基底上布置高折射率介质波导。低折射率介电层布置在高折射率介质波导上，在所述低折射率介电层上布置金属纳米结构的阵列。滤光器的各层具有由基底的图案化表面限定的共形形状。本发明还涉及滤光器系统，包括光学透射过滤器和固定到基底的检测器阵列。本发明还涉及包括至少一个光学透射过滤器和/或至少一个所述光学透射过滤器系统的光谱仪，并且对于具有波长在300nm与790nm之间的入射光具有低于30nm的光谱分辨率。本发明还涉及制造滤光器、滤光器系统和光谱仪的方法。