- 专利标题: 一种制备具有渐变隔离层的掺硼应力棒的方法
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申请号: CN201911258033.5申请日: 2019-12-10
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公开(公告)号: CN110845133B公开(公告)日: 2021-10-01
- 发明人: 张佳琦 , 庞璐 , 吴博 , 王东波 , 韩志辉 , 高培瑞
- 申请人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 申请人地址: 天津市河西区洞庭路26号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 当前专利权人地址: 天津市河西区洞庭路26号
- 代理机构: 天津中环专利商标代理有限公司
- 代理商 李美英
- 主分类号: C03B37/012
- IPC分类号: C03B37/012 ; C03B37/018
摘要:
本发明公开了一种制备具有渐变隔离层的掺硼应力棒的方法,渐变隔离层是指在应力棒最外层沉积隔离层,由外向内氟元素含量逐渐减少,硼元素含量逐渐增多,内部为含硼元素石英。包括以下步骤:将发反应管固定在玻璃车床上进行接管、抛光和胀管,然后沉积隔离层,进行缩管,套管和退火,应力棒预制棒进行热处理,然后固定在磨床上,剥离掉最外面的石英基底管材料。本发明采用渐变隔离层法制作的应力棒,具有设计灵活、制作简单的优点,可以根据不同的掺杂浓度,设计隔离层的厚度,根据不同芯棒的直径,设计反应管的内径,可以自由调节隔离层和芯径的比例。
公开/授权文献
- CN110845133A 一种渐变隔离层来制备掺硼应力棒的方法 公开/授权日:2020-02-28