一种制备具有渐变隔离层的掺硼应力棒的方法
摘要:
本发明公开了一种制备具有渐变隔离层的掺硼应力棒的方法,渐变隔离层是指在应力棒最外层沉积隔离层,由外向内氟元素含量逐渐减少,硼元素含量逐渐增多,内部为含硼元素石英。包括以下步骤:将发反应管固定在玻璃车床上进行接管、抛光和胀管,然后沉积隔离层,进行缩管,套管和退火,应力棒预制棒进行热处理,然后固定在磨床上,剥离掉最外面的石英基底管材料。本发明采用渐变隔离层法制作的应力棒,具有设计灵活、制作简单的优点,可以根据不同的掺杂浓度,设计隔离层的厚度,根据不同芯棒的直径,设计反应管的内径,可以自由调节隔离层和芯径的比例。
公开/授权文献
0/0