本发明公开了一种静电式动态可调反射式变焦超表面透镜及其制备方法，属于动态可调超表面领域，包括：玻璃衬底、ITO薄膜、天线、空气间隙、支撑结构、氮化硅薄膜、硅框架和金背板；天线用于入射光相位调控；空气间隙用于提供金背板变形的空间，金背板的最大变形程度为空气间隙厚度的三分之一；支撑结构用于形成空气间隙；金背板作为正电极且ITO薄膜作为负电极构成静电式MEMS系统，金背板为活动电极，用于在电压的调控下实现不同程度的凸起形变；天线的几何参数根据超表面透镜所需初始焦距、入射光波长和广义斯涅耳定律获取；本发明可通过改变ITO薄膜和金背板之间的电压，调节静态超表面透镜焦距，使成品率上升。