一种探针卡、包括探针卡的测试设备、测试方法
摘要:
本发明提供一种探针卡、包括探针卡的测试设备、测试方法,探针卡包括PCB板、空心针和探针;空心针和所述探针分别与所述PCB板连接,且所述空心针和所述探针相邻设置;空心针用于释放阻燃气体。用于测试时空心针的针尖处会喷射阻燃气体,形成阻燃气体保护氛围,可有效减少测试时半导体芯片打火现象的发生。测试设备包括探针卡、管路和高压测试装置,探针卡的压力腔与管路连接,且探针卡通过接口插入高压测试装置,该测试设备避免半导体芯片测试过程中出现打火现象,保证半导体芯片的安全性,且大大提高了测试精度。
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