发明公开
- 专利标题: 一种探针卡、包括探针卡的测试设备、测试方法
- 专利标题(英): Probe card, test equipment comprising probe card, and test method
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申请号: CN201910048374.3申请日: 2019-01-18
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公开(公告)号: CN110231501A公开(公告)日: 2019-09-13
- 发明人: 李嘉琳 , 李玲 , 吴昊 , 郑柳 , 焦倩倩 , 杨霏 , 潘艳
- 申请人: 全球能源互联网研究院有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 专利权人: 全球能源互联网研究院有限公司
- 当前专利权人: 全球能源互联网研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 代理机构: 北京安博达知识产权代理有限公司
- 代理商 徐国文
- 主分类号: G01R1/073
- IPC分类号: G01R1/073
摘要:
本发明提供一种探针卡、包括探针卡的测试设备、测试方法,探针卡包括PCB板、空心针和探针;空心针和所述探针分别与所述PCB板连接,且所述空心针和所述探针相邻设置;空心针用于释放阻燃气体。用于测试时空心针的针尖处会喷射阻燃气体,形成阻燃气体保护氛围,可有效减少测试时半导体芯片打火现象的发生。测试设备包括探针卡、管路和高压测试装置,探针卡的压力腔与管路连接,且探针卡通过接口插入高压测试装置,该测试设备避免半导体芯片测试过程中出现打火现象,保证半导体芯片的安全性,且大大提高了测试精度。
公开/授权文献
- CN110231501B 一种探针卡、包括探针卡的测试设备、测试方法 公开/授权日:2024-03-19