一种方形件的搬运翻转装置
摘要:
本发明公开了一种方形件的搬运翻转装置,用于在晶圆清洗生产线中将晶圆自水平状态调整为竖直状态,所述搬运翻转装置包括:基座;顶柱部件,所述顶柱部件具有多个支撑柱,所述支撑柱的底部固定连接在顶升气缸的移动部上,所述顶升气缸固定在所述基座上,用来接过第一机械手供给来的水平方向的方形件,所述方形件中容置所述晶圆;夹具,所述夹具包括能够相互远离或者靠近的第一卡、第二卡,所述第一卡、第二卡靠近时能够夹紧所述方形件,所述第一卡、第二卡分别固定连接在气压缸的两端,所述夹具中第二卡所在的一端铰接连接在所述基座上;以及旋转部件。本发明的有益效果为承接高精度方形件的搬运,且将方形件由水平状态翻转为竖直状态。
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