发明授权
- 专利标题: 一种方形件的搬运翻转装置
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申请号: CN201910439639.2申请日: 2019-05-24
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公开(公告)号: CN110203698B公开(公告)日: 2021-11-09
- 发明人: 葛林新 , 李杰 , 葛林海 , 丁高生 , 陈景韶
- 申请人: 上海提牛机电设备有限公司
- 申请人地址: 上海市奉贤区堂富路88号101室
- 专利权人: 上海提牛机电设备有限公司
- 当前专利权人: 上海提牛科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 201405 上海市奉贤区堂富路88号101室
- 代理机构: 上海智力专利商标事务所
- 代理商 周涛
- 主分类号: B65G49/07
- IPC分类号: B65G49/07
摘要:
本发明公开了一种方形件的搬运翻转装置,用于在晶圆清洗生产线中将晶圆自水平状态调整为竖直状态,所述搬运翻转装置包括:基座;顶柱部件,所述顶柱部件具有多个支撑柱,所述支撑柱的底部固定连接在顶升气缸的移动部上,所述顶升气缸固定在所述基座上,用来接过第一机械手供给来的水平方向的方形件,所述方形件中容置所述晶圆;夹具,所述夹具包括能够相互远离或者靠近的第一卡、第二卡,所述第一卡、第二卡靠近时能够夹紧所述方形件,所述第一卡、第二卡分别固定连接在气压缸的两端,所述夹具中第二卡所在的一端铰接连接在所述基座上;以及旋转部件。本发明的有益效果为承接高精度方形件的搬运,且将方形件由水平状态翻转为竖直状态。
公开/授权文献
- CN110203698A 一种方形件的搬运翻转装置 公开/授权日:2019-09-06
IPC分类: