一种从靶材泵出离子的新型脉动等离子体的电源
摘要:
一种从靶材泵出离子的新型脉动等离子体的电源,包括前级直流电源模块、脉冲调制器模块及同步控制器模块,前级直流电源模块至少包括第一直流电源模块和第二直流电源模块;脉冲调制器模块至少包括第一脉冲调制器模块和第二脉冲调制器模块;第一直流电源模块与第一脉冲调制器模块提供高能冲击磁控溅射放电所需的能量;第二直流电源模块与第二脉冲调制器模块提供泵出离子形成脉动等离子体所需的能量;两个直流电源模块贮存的能量分别通过第一脉冲调制器模块和第二脉冲调制器模块调制后,以脉冲的方式,泄放到等离子体的发生装置里;同步控制器模块对脉冲调制器模块进行同步控制。本发明能够对高能冲击磁控溅射中从靶材溅射出的离子进行加速。
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