倒嵌梯形盒状三维探测器
摘要:
本发明公开了一种倒嵌梯形盒状三维探测器,该探测器由探测单元排列形成,探测单元的外形呈六面体,上下表面均为矩形,四个侧面两对面形状相同,为两个矩形和两个等腰梯形;探测单元是在探测器基体上依次镀有氧化层b和金属层b,在金属层b上离子注入n型重掺杂硅,n型重掺杂硅沿四周向外延伸生长,形成探测单元的侧面,n型重掺杂硅围成的壳体即为壳型电极,在壳型电极中离子注入形成灵敏区,在灵敏区的顶部的中间离子注入形成中央收集电极,中央收集电极上附有金属层a,灵敏区上附有氧化层a;本发明制备的探测器,内部无死区存在、电荷收集效率高,耗尽电压低、电容小,产生的信号噪音小,位置分辨率和能量分辨率高。
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