- 专利标题: 基于复合介质栅光敏探测器的2×2阵列布局及工作方法
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申请号: CN201711458300.4申请日: 2017-12-28
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公开(公告)号: CN109979930B公开(公告)日: 2020-12-04
- 发明人: 马浩文 , 黄枝建 , 施毅 , 闫锋 , 张丽敏 , 卜晓峰 , 李煜乾 , 李张南 , 孔祥顺 , 毛成 , 杨程 , 曹旭
- 申请人: 南京大学
- 申请人地址: 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- 专利权人: 南京大学
- 当前专利权人: 南京大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- 代理机构: 南京知识律师事务所
- 代理商 李媛媛
- 主分类号: H01L27/02
- IPC分类号: H01L27/02 ; H01L27/146
摘要:
本发明公开了一种基于复合介质栅光敏探测器的2×2阵列布局及工作方法。阵列由四个像元组成,每个像元包括一个感光晶体管和一个读取晶体管,这两者形成在同一P型半导体衬底上方,并均采用复合介质栅结构;四个读取晶体管的衬底连成正八边环形结构并位于阵列的中心;正八边环形结构的四条边中,未覆盖复合介质栅的衬底中形成四个两两相对且互呈直角的重掺杂N+区,其中两个相对的重掺杂N+区互连构成共享的N+源极,另外两个互连构成共享的N+漏极;四个感光晶体管位于正八边环形结构的外侧且处于四个未进行N+重掺杂区域的一侧。本发明可以显著提高光敏探测器的填充系数,实现高的满阱电荷容量,且与浮栅CMOS工艺兼容,易于制造。
公开/授权文献
- CN109979930A 基于复合介质栅光敏探测器的2×2阵列布局及工作方法 公开/授权日:2019-07-05
IPC分类: