基于复合介质栅光敏探测器的2×2阵列布局及工作方法
摘要:
本发明公开了一种基于复合介质栅光敏探测器的2×2阵列布局及工作方法。阵列由四个像元组成,每个像元包括一个感光晶体管和一个读取晶体管,这两者形成在同一P型半导体衬底上方,并均采用复合介质栅结构;四个读取晶体管的衬底连成正八边环形结构并位于阵列的中心;正八边环形结构的四条边中,未覆盖复合介质栅的衬底中形成四个两两相对且互呈直角的重掺杂N+区,其中两个相对的重掺杂N+区互连构成共享的N+源极,另外两个互连构成共享的N+漏极;四个感光晶体管位于正八边环形结构的外侧且处于四个未进行N+重掺杂区域的一侧。本发明可以显著提高光敏探测器的填充系数,实现高的满阱电荷容量,且与浮栅CMOS工艺兼容,易于制造。
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