多晶硅智能生产方法及系统
Abstract:
本发明公开了一种多晶硅智能生产方法及系统,包括如下步骤:第一,数字化研发设计利用仿真模拟软件对多晶硅生产中的主要设备、核心部件及关联参数进行仿真模拟;第二,智能化控制执行系统运行将仿真模拟分析得到的结果输入到智能化控制执行系统运行;第三,大数据分析通过采集的工艺数据,结合存储的历史生产工艺参数进行比对、人工智能深度计算,得到优化的分析结果;第四,结果输出将优化的分析结果与预定目标值进行比较,根据比较的结果进行输出。本发明实现多晶硅生产的智能控制,高效优化,达到降低消耗,提升质量的目的。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0