本发明公开了一种离子加速器用紧凑型一体化供电装置，包括壳体和底座，壳体上设有高压输出接口和隔离供电输出接口，底座上设有真空抽气口、注油口、高压输入接口及隔离供电输入接口；壳体中设有高压电源电路、隔离供电电路、高压测量电路及均压电路；高压电源电路包括高压升压变压器、高压倍压电路和高压保护电路；隔离供电电路包括隔离变压器系统和隔离供电采样电路；高压测量电路包括测量电阻和滤波电容；均压电路包括均压电阻；隔离变压器系统与高压升压变压器的输入电压通过设置微处理器进行调节。本发明的高压升压电路和隔离变压电路共用一套均压系统，保证了隔离变压器和高压升压电路各级能够处于同一电位，改善均压效果，简化均压装置。