发明授权
- 专利标题： 树脂掩膜剥离用洗涤剂组合物
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申请号： CN201780054413.X申请日： 2017-08-24
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公开(公告)号： CN109791377B公开(公告)日： 2023-03-28
- 发明人: 西勋
- 申请人： 花王株式会社
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： 花王株式会社
- 当前专利权人： 花王株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王永红
- 优先权： 2016-176651 20160909 JP
- 国际申请： PCT/JP2017/030352 2017.08.24
- 国际公布： WO2018/047631 JA 2018.03.15
- 进入国家日期： 2019-03-05
- 主分类号： G03F7/42
- IPC分类号： G03F7/42 ; B08B3/08 ; C11D7/04 ; C11D7/26 ; C11D17/08 ; H01L21/027
摘要：
本公开提供一种树脂掩膜去除性优异且排水处理负荷较小的树脂掩膜剥离用洗涤剂组合物。本公开涉及一种树脂掩膜剥离用洗涤剂组合物，在一样式中，含有无机碱(成分A)、有机溶剂(成分B)及水(成分C)，成分B的汉森溶解度参数的坐标处于以δd＝17.5、δp＝5.0、δh＝11.5为中心的半径1.5MPa0.5的球的范围内，洗涤剂组合物的使用时的成分C的含量为85质量％以上，成分A相对于成分B的质量比(A/B)为1以上且60以下。
公开/授权文献
- CN109791377A 树脂掩膜剥离用洗涤剂组合物 公开/授权日：2019-05-21
IPC分类:
