- 专利标题: 具有电磁干扰屏蔽的半导体封装结构及制造方法
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申请号: CN201711041958.5申请日: 2017-10-30
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公开(公告)号: CN109727928B公开(公告)日: 2021-02-26
- 发明人: 不公告发明人
- 申请人: 长鑫存储技术有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
- 专利权人: 长鑫存储技术有限公司
- 当前专利权人: 长鑫存储技术有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
- 代理机构: 北京市铸成律师事务所
- 代理商 张臻贤; 武晨燕
- 主分类号: H01L23/31
- IPC分类号: H01L23/31 ; H01L23/498 ; H01L23/552
摘要:
本发明提供一种具有电磁干扰屏蔽的半导体封装结构及其制造方法。封装结构包括:重布线结构、电磁干扰屏蔽结构和多个芯片。电磁干扰屏蔽结构具有侧壁框部和顶部层,侧壁框部直接形成于重布线结构上的金属垫上。制造方法包括:形成重布线结构,在重布线结构上的金属垫上沉积侧壁框部,模封并减薄塑封体以露出侧壁框部的顶端,沉积金属以形成电磁干扰屏蔽结构的顶部层。本发明的电磁干扰屏蔽结构,其侧壁框部的下方未采用焊料连接的方式,而是直接形成于金属垫之上,避免了焊料爬升、焊料内部孔洞以及焊料渗入到重布线结构内部而造成的短路。
公开/授权文献
- CN109727928A 具有电磁干扰屏蔽的半导体封装结构及制造方法 公开/授权日:2019-05-07
IPC分类: