- 专利标题： 一种防短路功能的离子光学系统及微型离子源
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申请号： CN201811593481.6申请日： 2018-12-25
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公开(公告)号： CN109712861B公开(公告)日： 2021-05-14
- 发明人: 魏立秋 , 唐井峰 , 丁永杰 , 李文博 , 杨鑫勇 , 卢惠民 , 于达仁
- 申请人： 哈工大机器人(岳阳)军民融合研究院
- 申请人地址： 湖南省岳阳市城陵矶新港区军民融合产业园欣登孵化器办公楼3楼
- 专利权人： 哈工大机器人(岳阳)军民融合研究院
- 当前专利权人： 哈工大机器人(岳阳)军民融合研究院
- 当前专利权人地址： 湖南省岳阳市城陵矶新港区军民融合产业园欣登孵化器办公楼3楼
- 代理机构： 北京格允知识产权代理有限公司
- 代理商 周娇娇
- 主分类号： H01J49/06
- IPC分类号： H01J49/06 ; H01J49/14
摘要：
本发明涉及一种防短路功能的离子光学系统及微型离子源，离子光学系统包括平行相对设置的屏栅和加速栅，并通过绝缘体使所述屏栅和加速栅的外端部支撑连接。为防止屏栅与加速栅之间短路，在所述绝缘体的内端面上设置金属颗粒阻拦凸起部、或者采用三层不等内径的环形绝缘体或者采用导流挡板。采用上述设置的离子光学系统的微型离子源具有较高的绝缘性能，保证了离子源装置的稳定运行。
公开/授权文献
- CN109712861A 一种防短路功能的离子光学系统及微型离子源 公开/授权日：2019-05-03
