为了改善硬质合金的硬度、耐磨性，制备了一种硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜。采用2个Ti63-Al32-Zr5合金靶和1个Cr单质靶，基体试样选用WC-8Co硬质合金为原料，硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜，沉积过程中偏压参数的设定对复合膜的性能有一定的影响。偏压参数设定过高，则会使复合膜过度反应，力学性能下降。偏压参数设定过低，则复合膜不能很好的附着在基体硬质合金表面，造成脱落。所制得的硬质合金表面的TiAlZr-Cr(Ti，Al，Zr，Cr)N梯度膜，其硬度、致密化程度、抗弯强度都得到大幅提升。本发明能够为制备高性能的硬质合金梯度膜提供一种新的生产工艺。