发明公开
- 专利标题: 一种发光二极管外延片及其制作方法
- 专利标题(英): Light emitting diode epitaxial wafer as well as production method thereof
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申请号: CN201811287271.4申请日: 2018-10-31
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公开(公告)号: CN109638127A公开(公告)日: 2019-04-16
- 发明人: 郭炳磊 , 王群 , 葛永晖 , 李鹏 , 胡加辉
- 申请人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 申请人地址: 浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路233号
- 专利权人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 当前专利权人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路233号
- 代理机构: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 徐立
- 主分类号: H01L33/32
- IPC分类号: H01L33/32 ; H01L33/20 ; H01L33/00
摘要:
本发明公开了一种发光二极管外延片及其制作方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底、电子提供层、有源层和空穴提供层,所述电子提供层、所述有源层和所述空穴提供层依次层叠在所述衬底上,所述空穴提供层包括(n+1)个第一子层和n个第二子层,n为正整数,所述(n+1)个第一子层和所述n个第二子层交替层叠设置;每个所述第一子层的材料采用P型掺杂的氮化镓,每个所述第二子层的材料采用掺杂铌的氮化镓。本发明通过在P型掺杂的氮化镓中插入至少一层掺杂铌的氮化镓,掺杂铌的氮化镓和P型掺杂的氮化镓的交界面具有较强的二维空穴气,有利于P型掺杂的氮化镓提供的空穴进行横向扩展,从而大大提高了空穴的迁移率。
公开/授权文献
- CN109638127B 一种发光二极管外延片及其制作方法 公开/授权日:2021-01-12
IPC分类: