一种发光二极管外延片及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种发光二极管外延片及其制作方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底、电子提供层、有源层和空穴提供层,所述电子提供层、所述有源层和所述空穴提供层依次层叠在所述衬底上,所述空穴提供层包括(n+1)个第一子层和n个第二子层,n为正整数,所述(n+1)个第一子层和所述n个第二子层交替层叠设置;每个所述第一子层的材料采用P型掺杂的氮化镓,每个所述第二子层的材料采用掺杂铌的氮化镓。本发明通过在P型掺杂的氮化镓中插入至少一层掺杂铌的氮化镓,掺杂铌的氮化镓和P型掺杂的氮化镓的交界面具有较强的二维空穴气,有利于P型掺杂的氮化镓提供的空穴进行横向扩展,从而大大提高了空穴的迁移率。
公开/授权文献
0/0