- 专利标题: 一种动态干涉仪同步移相干涉图的空间位置配准方法
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申请号: CN201811589898.5申请日: 2018-12-25
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公开(公告)号: CN109632112B公开(公告)日: 2020-11-27
- 发明人: 陈磊 , 杨影 , 丁煜 , 郑东晖 , 朱文华 , 韩志刚 , 郑权 , 孔璐 , 王冲 , 王云涛 , 杨光 , 吴志飞
- 申请人: 南京理工大学
- 申请人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 薛云燕
- 主分类号: G01J9/02
- IPC分类号: G01J9/02
摘要:
本发明公开了一种动态干涉仪同步移相干涉图的空间位置配准方法。该方法为:首先倾斜动态干涉仪中的参考镜,在同步移相干涉图中引入线性载频,采集载频同步移相干涉图,并分割为四个子干涉图;然后使用傅里叶滤波法解算每个子干涉图中的相位信息,并对其分别消倾斜,得到每个子干涉图所包含的待测相位信息;接着选取其中一个子干涉图包含的相位信息作为基准相位信息,采用快速相位相关配准法确定其他子干涉图包含的相位信息与基准相位信息的空间位置匹配误差;最后根据相位信息的空间位置匹配误差,确定子干涉图间的位置配准关系。本发明提高了动态干涉仪空间位置配准的自动化程度,空间位置配准的准确性和可靠性高,简单高效,适用范围广。
公开/授权文献
- CN109632112A 一种动态干涉仪同步移相干涉图的空间位置配准方法 公开/授权日:2019-04-16