Invention Grant
CN109628995B 利用梯度保温提高合金法提纯多晶硅收率的方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 利用梯度保温提高合金法提纯多晶硅收率的方法
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Application No.: CN201811624705.5Application Date: 2018-12-28
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Publication No.: CN109628995BPublication Date: 2021-05-14
- Inventor: 高忙忙 , 高昂 , 强璐 , 赵旭 , 祁雪燕 , 梁森 , 李海波
- Applicant: 宁夏大学
- Applicant Address: 宁夏回族自治区银川市西夏区贺兰山西路489号
- Assignee: 宁夏大学
- Current Assignee: 宁夏大学
- Current Assignee Address: 宁夏回族自治区银川市西夏区贺兰山西路489号
- Agency: 宁夏合天律师事务所
- Agent 孙彦虎
- Main IPC: C30B29/06
- IPC: C30B29/06 ; C30B28/04
Abstract:
利用梯度保温提高合金法提纯多晶硅收率的方法包括：将铝硅原料按照Al‑50wt%Si进行配比作为提纯原料；通入氩气和氢气的混合气体，氩气与氢气的体积比为100:4；按照7℃/min的速度提高反应炉的温度，直至反应炉中的温度升高至1450℃，并按照预定速度通入步骤S002中氩气和氢气的混合气体，以使反应炉维持惰性的气体环境；提纯原料在1450℃的条件下保温2h，然后按照3℃/min的速度降温至1300℃；提纯原料在1300℃的条件下保温2h，然后按照3℃/min的速度降温至900℃；提纯原料在900℃的条件下保温2h，然后按照3℃/min的速度降温至600℃，自然冷却至室温。
Public/Granted literature
- CN109628995A 利用梯度保温提高合金法提纯多晶硅收率的方法 Public/Granted day:2019-04-16
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IPC分类:
