- 专利标题: 基于m面ZnOS薄膜的自发极化增强型光电探测器及其制备方法
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申请号: CN201811487843.3申请日: 2018-12-06
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公开(公告)号: CN109560161B公开(公告)日: 2020-04-28
- 发明人: 何云斌 , 杨蓉慧子 , 卢寅梅 , 黎明锴 , 丁雅丽 , 常钢 , 李派 , 陈俊年 , 张清风
- 申请人: 湖北大学 , 武汉睿联智创光电有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
- 专利权人: 湖北大学,武汉睿联智创光电有限公司
- 当前专利权人: 湖北大学,武汉睿联智创光电有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
- 代理机构: 北京金智普华知识产权代理有限公司
- 代理商 杨采良
- 主分类号: H01L31/108
- IPC分类号: H01L31/108 ; H01L31/0224 ; H01L31/0296 ; H01L31/036 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种基于m面ZnOS薄膜的自发极化增强型光电探测器及其制备方法。本发明的探测器从下至上依次包括m面蓝宝石衬底、m面ZnOS薄膜、一对平行金属电极,其中:所述平行金属电极垂直于所述m面ZnOS薄膜的c轴方向。本发明的光电探测器当电极上所加的电场与内部自发极化场的方向相同时,此时内部的极化场将与外电场叠加,协同增强载流子的分离和传输,有效提高光探测器的响应速度。另外,本发明制备的光电探测器为MSM构造,结构简单,且制备工艺也简单,制作成本低廉,易于生产,有利于产业化应用。
公开/授权文献
- CN109560161A 基于m面ZnOS薄膜的自发极化增强型光电探测器及其制备方法 公开/授权日:2019-04-02
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