- 专利标题: 离子从等离子体到待涂覆的基底的改进的转向
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申请号: CN201780045612.4申请日: 2017-06-21
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公开(公告)号: CN109477209B公开(公告)日: 2021-05-14
- 发明人: M·京特 , O·施密特 , W·多布雷金
- 申请人: 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 侯鸣慧
- 优先权: 102016213951.7 20160728 DE
- 国际申请: PCT/EP2017/065185 2017.06.21
- 国际公布: WO2018/019482 DE 2018.02.01
- 进入国家日期: 2019-01-23
- 主分类号: C23C14/50
- IPC分类号: C23C14/50 ; C23C16/44 ; H01J37/32
摘要:
基底保持架(1),其包括用于将电势US供给至基底(2)的第一触点(3),其中,在基底保持架(1)的表面(11)上的充电区域(12)构造为能够通过从涂覆设备(100)的离子源(104)到达的离子(101、102)充电(13),和/或设置第二触点(4),能够通过第二触点以不同于电势US的能自由选择的电势UH加载在基底保持架(1)的表面(11)上的电极区域(14)。涂覆设备(100),其具有至少一个离子源(104)和第一电压源(106),第一电压源能够与待涂覆的基底(2)连接,从而能够通过由第一电压源(106)施加在基底(2)上的电势US使来自离子源(104)的气体离子(101)和/或涂覆材料(103)的离子(102)朝向基底(2)的方向加速,其中,至少一个邻近面(11、105)构造为能通过到达的离子(101、102)充电(13、113),未到达基底(2)的离子(101、102)朝邻近面运动,和/或,设置至少一个第二电压源(107),第二电压源能够与邻近面(11、105)连接,使得邻近面(11、105)能够以不同于电势US的能自由选择的电势UH加载。用于运行的方法和计算机程序产品。
公开/授权文献
- CN109477209A 离子从等离子体到待涂覆的基底的改进的转向 公开/授权日:2019-03-15
IPC分类: