离子从等离子体到待涂覆的基底的改进的转向
摘要:
基底保持架(1),其包括用于将电势US供给至基底(2)的第一触点(3),其中,在基底保持架(1)的表面(11)上的充电区域(12)构造为能够通过从涂覆设备(100)的离子源(104)到达的离子(101、102)充电(13),和/或设置第二触点(4),能够通过第二触点以不同于电势US的能自由选择的电势UH加载在基底保持架(1)的表面(11)上的电极区域(14)。涂覆设备(100),其具有至少一个离子源(104)和第一电压源(106),第一电压源能够与待涂覆的基底(2)连接,从而能够通过由第一电压源(106)施加在基底(2)上的电势US使来自离子源(104)的气体离子(101)和/或涂覆材料(103)的离子(102)朝向基底(2)的方向加速,其中,至少一个邻近面(11、105)构造为能通过到达的离子(101、102)充电(13、113),未到达基底(2)的离子(101、102)朝邻近面运动,和/或,设置至少一个第二电压源(107),第二电压源能够与邻近面(11、105)连接,使得邻近面(11、105)能够以不同于电势US的能自由选择的电势UH加载。用于运行的方法和计算机程序产品。
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