发明授权
- 专利标题： 一种三维解耦型扫描测头
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申请号： CN201811452722.5申请日： 2018-11-30
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公开(公告)号： CN109373878B公开(公告)日： 2020-08-04
- 发明人: 王洪喜 , 龙耀 , 贾建军 , 王冠伟 , 田慧慧 , 梁文宏 , 王亚晓
- 申请人： 西安工业大学
- 申请人地址： 陕西省西安市未央区学府中路2号
- 专利权人： 西安工业大学
- 当前专利权人： 西安工业大学
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市未央区学府中路2号
- 代理机构： 西安新思维专利商标事务所有限公司
- 代理商 黄秦芳
- 主分类号： G01B7/00
- IPC分类号： G01B7/00 ; G01B7/02
摘要：
本发明涉及精密测量仪器技术领域，具体涉及一种三维解耦型扫描测头。本发明包括XY向测量机构、Z向测量机构、测头外壳、测杆、弹簧平衡机构，该测头通过三组相互垂直安装的膜片导向机构，构成X向、Y向、Z向运动导轨，且三个方向上分别安装有一个电感传感器用来测量测针在X、Y、Z三个方向的微位移。本发明的测头在三个方向上相互解耦，结构紧凑，体积小，测量精度高，灵敏度高,长期使用稳定性好，且可以实现一维、二维和三维扫描测量。
公开/授权文献
- CN109373878A 一种三维解耦型扫描测头 公开/授权日：2019-02-22
