一种基于激光与等离子体的复合抛光方法
摘要:
本发明公开了一种基于激光与等离子体的复合抛光方法,首先将待加工工件固定在抛光系统工作台上,然后通过激光抛光装置使激光光束汇聚至待加工工件表面形成激光束焦斑然后通过等离子体抛光装置产生常压等离子体束冲击待加工工件表面形成等离子体冲击区域;调节激光光束指向与等离子体冲击方向使激光束焦斑与等离子体冲击区域重叠,对待加工工件表面进行复合抛光;通过多轴移动平台,移动激光束焦斑‑等离子体冲击复合区域完成待加工工件整个表面的抛光。本发明利用等离子体在超快激光加工过程中对材料表面的改性和复合刻蚀作用,提高表面加工质量,解决超快激光表面加工质量不高的瓶颈问题,实现材料表面高质量、高效精细抛光。
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