一种片状钽粉及其制备方法
摘要:
一种片状钽粉及其制备方法,该片状钽粉含有氮300~1800ppm、磷10-100ppm和硼1-40ppm。该片状钽粉容量高,漏电流低,耐击穿性能好,尤其高频特性突出。通过在进行三次热处理前的降氧过程中进行掺氮,而后进行三次热处理及后序工艺的方案,改善了氮元素分布的均匀性,弥补了氧化膜的缺陷,从而提高了产品的耐压性,尤其高频特性。
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