吹气抽尘装置及陶瓷基板激光打孔方法
摘要:
本发明涉及一种吹气抽尘装置及陶瓷基板激光打孔方法。该吹气抽尘装置,包括:本体,设有空腔,空腔的第一端与外部连通;透光片,盖设于空腔的第一端上;气嘴,包括第一管体和套设于第一管体上的第二管体,第一管体的第一端设于本体内,并与空腔的第二端连通,第一管体的第二端伸出本体,并设有出气口,第一管体与第二管体之间形成有气道,气道位于本体内的一端为封闭端,位于本体外的一端为开口端;进气管,一端设于本体上,并与空腔连通,另一端与供气装置连接;抽尘管,一端设于本体上,并与气道连通,另一端与抽气装置连接。这种吹气抽尘装置能有效的将陶瓷基板激光打孔时产生的粉尘排出,可以适用于厚度较厚的陶瓷基板,并保证打孔质量。
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