发明授权
- 专利标题: X射线平板探测器及其制作方法
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申请号: CN201811099303.8申请日: 2018-09-20
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公开(公告)号: CN109244096B公开(公告)日: 2020-07-24
- 发明人: 田书凯 , 隋帆 , 杨春雷 , 刘建科 , 程冠铭 , 单成伟
- 申请人: 深圳先进技术研究院
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- 专利权人: 深圳先进技术研究院
- 当前专利权人: 深圳先进技术研究院
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
- 代理机构: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- 代理商 孙伟峰
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146
摘要:
本发明提供了X射线平板探测器及其制作方法,所述X射线平板探测器包括衬底、多个光电转换部、多个透光的第一电极以及第二电极。其中,所述衬底包括相对的第一表面和第二表面,所述第一表面凹陷形成多个槽孔;所述光电转换部设置于对应的槽孔内;所述第一电极设置于对应的光电转换部上,并且第一电极与对应的光电转换部电连接;所述第二电极设置于第二表面上。所述X射线平板探测器利用开设有槽孔的衬底作为模板,形成对应各个像素的光电转换部,每个光电转换部的大小取决于槽孔的孔径,而所述槽孔能通过刻蚀等工艺达到极小的尺寸水平,因此相比于现有技术,所述X射线平板探测器生成的图像的像素能进一步缩小,以提高图像的分辨率。
公开/授权文献
- CN109244096A X射线平板探测器及其制作方法 公开/授权日:2019-01-18
IPC分类: