X射线平板探测器及其制作方法
摘要:
本发明提供了X射线平板探测器及其制作方法,所述X射线平板探测器包括衬底、多个光电转换部、多个透光的第一电极以及第二电极。其中,所述衬底包括相对的第一表面和第二表面,所述第一表面凹陷形成多个槽孔;所述光电转换部设置于对应的槽孔内;所述第一电极设置于对应的光电转换部上,并且第一电极与对应的光电转换部电连接;所述第二电极设置于第二表面上。所述X射线平板探测器利用开设有槽孔的衬底作为模板,形成对应各个像素的光电转换部,每个光电转换部的大小取决于槽孔的孔径,而所述槽孔能通过刻蚀等工艺达到极小的尺寸水平,因此相比于现有技术,所述X射线平板探测器生成的图像的像素能进一步缩小,以提高图像的分辨率。
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