- 专利标题: 振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体
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申请号: CN201810694946.0申请日: 2018-06-29
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公开(公告)号: CN109217824B公开(公告)日: 2023-08-29
- 发明人: 山口启一 , 小仓诚一郎 , 押尾政宏 , 西泽龙太
- 申请人: 精工爱普生株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人: 精工爱普生株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 邓毅; 李庆泽
- 主分类号: H03B5/36
- IPC分类号: H03B5/36 ; H03B5/32 ; H01L23/12
摘要:
振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体。抑制振动泄漏,使飞沫难以残留。该振动元件的频率调整方法具有以下步骤:准备振动元件,该振动元件具有:振动臂;第1施重部,其配置于所述振动臂的一个主面;以及第2施重部,其配置于所述振动臂的另一个主面,在从所述主面的法线方向俯视时,所述第1施重部具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域;准备具有布线部的基板,将所述振动元件的所述另一个主面侧朝向所述基板侧而将所述振动元件固定于所述基板;以及从所述一个主面侧向所述第1施重部的所述非重叠区域照射能量束,去除所述第1施重部的所述非重叠区域的一部分,调整所述振动臂的谐振频率。
公开/授权文献
- CN109217824A 振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体 公开/授权日:2019-01-15