一种多晶硅锭浇铸装置及浇铸方法
Abstract:
本发明涉及一种多晶硅锭浇铸装置,属于光伏技术领域,它解决了现有技术中多晶硅锭晶体位错密度大的问题。本多晶硅锭浇铸装置包括炉体,炉体内设有可升降运动的隔热笼,隔热笼内设有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、顶部加热器和侧部加热器,石墨底板放置在热交换平台上,坩埚放置在石墨底板上,热交换平台上设有辅助冷却装置,所述的辅助冷却装置可调节冷却温度。本多晶硅锭浇铸装置通过设置辅助冷却装置,可调节底部热交换平台的热交换效率,从而使得硅锭底部和侧部温度梯度均匀,消除固液界面的横向温差,从而使得长晶方向稳定,降低位错密度。
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