一种发光二极管外延片及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种发光二极管外延片及其制造方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底以及依次层叠在衬底上的缓冲层、N型半导体层、有源层和P型半导体层,有源层包括依次层叠的多个复合结构,每个所述复合结构包括依次层叠的阱层、盖层和垒层,所述阱层的材料为InGaN,所述垒层的材料为GaN,所述盖层的材料为BxGa1‑xN,0<x<1。本发明通过在InGaN和GaN之间插入一层BGaN,可以防止In的析出,同时由于B原子的尺寸较小,BGaN可以提供拉应力,改善InGaN和GaN之间的晶格失配,降低由于InGaN和GaN晶格失配带来的压电极化场,提高LED的发光效率。
公开/授权文献
0/0