发明授权
- 专利标题: 一种发光二极管外延片及其制造方法
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申请号: CN201810697545.0申请日: 2018-06-29
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公开(公告)号: CN109065679B公开(公告)日: 2020-05-19
- 发明人: 苏晨 , 王慧 , 肖扬 , 吕蒙普 , 胡加辉 , 李鹏
- 申请人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 申请人地址: 浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路233号
- 专利权人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 当前专利权人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路233号
- 代理机构: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 徐立
- 主分类号: H01L33/06
- IPC分类号: H01L33/06 ; H01L33/08 ; H01L33/14 ; H01L33/32 ; H01L33/00
摘要:
本发明公开了一种发光二极管外延片及其制造方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底以及依次层叠在衬底上的缓冲层、N型半导体层、有源层和P型半导体层,有源层包括依次层叠的多个复合结构,每个所述复合结构包括依次层叠的阱层、盖层和垒层,所述阱层的材料为InGaN,所述垒层的材料为GaN,所述盖层的材料为BxGa1‑xN,0<x<1。本发明通过在InGaN和GaN之间插入一层BGaN,可以防止In的析出,同时由于B原子的尺寸较小,BGaN可以提供拉应力,改善InGaN和GaN之间的晶格失配,降低由于InGaN和GaN晶格失配带来的压电极化场,提高LED的发光效率。
公开/授权文献
- CN109065679A 一种发光二极管外延片及其制造方法 公开/授权日:2018-12-21
IPC分类: