- 专利标题： 太赫兹悬置空芯脊型介质波导的制作方法及其结构
-
申请号： CN201810960490.8申请日： 2018-08-22
-
公开(公告)号： CN109031523B公开(公告)日： 2020-02-18
- 发明人: 郑小平 , 刘佳明 , 张德鉴 , 白胜闯 , 李志杰 , 李佳 , 欧湛
- 申请人： 清华大学
- 申请人地址： 北京市海淀区清华园1号
- 专利权人： 清华大学
- 当前专利权人： 清华大学
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区清华园1号
- 代理机构： 北京华进京联知识产权代理有限公司
- 代理商 赵永辉
- 主分类号： G02B6/13
- IPC分类号： G02B6/13 ; G02B6/136 ; G02B6/122
摘要：
本申请提供一种太赫兹悬置空芯脊型介质波导的制作方法及其结构，所述太赫兹悬置空芯脊型介质波导的制作方法采用所述第一高阻硅以及所述第二高阻硅作为传输材料，可以使得在0.1THz～1THz频段范围内吸收系数小于0.01每厘米，具有很低的介质损耗。并且，所述第一高阻硅以及所述第二高阻硅作为传输材料具有极高的介电常数，可以使得电磁波集中在波导高阻硅内部进行传输减少电磁波向周围空气层的辐射，从而减少辐射损耗。同时，由于电磁波集中于所述空气芯腔内，使得更多的电磁波集中在无损的空气中进行传输，进一步减少了介质损耗。
公开/授权文献
- CN109031523A 太赫兹悬置空芯脊型介质波导的制作方法及其结构 公开/授权日：2018-12-18
