• 专利标题: 一种静电面内式MEMS继电器
  • 申请号: CN201810722936.3
    申请日: 2018-07-04
  • 公开(公告)号: CN108987193B
    公开(公告)日: 2019-10-18
  • 发明人: 赵嘉昊边潍
  • 申请人: 清华大学
  • 申请人地址: 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
  • 专利权人: 清华大学
  • 当前专利权人: 清华大学
  • 当前专利权人地址: 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
  • 代理机构: 北京聿宏知识产权代理有限公司
  • 代理商 吴大建; 张杰
  • 主分类号: H01H59/00
  • IPC分类号: H01H59/00
一种静电面内式MEMS继电器
摘要:
本发明公开了一种静电面内式MEMS继电器,其包括衬底和设置在衬底上的继电器本体;继电器本体包括具有周期性的梳齿结构的支撑梁,设置在支撑梁一端的动触点,相对于动触点设置的静触点,以及具有与支撑梁相对应的梳齿结构的驱动电极;驱动电极设置成,在静电作用下驱动支撑梁动作,从而带动动触点移动,使得动触点能够与静触点接触,实现继电器闭合。通过将优化的梳齿结构应用于支撑梁,有效提升了MEMS继电器的性能指标。
公开/授权文献
0/0