发明授权
摘要:
本发明公开了一种静电面内式MEMS继电器,其包括衬底和设置在衬底上的继电器本体;继电器本体包括具有周期性的梳齿结构的支撑梁,设置在支撑梁一端的动触点,相对于动触点设置的静触点,以及具有与支撑梁相对应的梳齿结构的驱动电极;驱动电极设置成,在静电作用下驱动支撑梁动作,从而带动动触点移动,使得动触点能够与静触点接触,实现继电器闭合。通过将优化的梳齿结构应用于支撑梁,有效提升了MEMS继电器的性能指标。
公开/授权文献
- CN108987193A 一种静电面内式MEMS继电器 公开/授权日:2018-12-11