本发明公开了一种超声辅助研磨抛光碳化硅晶片的装置，为克服碳化硅晶片研磨抛光表面损伤大、材料去除率低的问题，其包括机床、多自由度定位平台、负载调节部件、超声动力部件、夹具部件、保持环、研磨盘或抛光垫与超声波数字电源；其中：多自由度定位平台包括动平台与机座；负载调节部件包括机架与轴承基座；超声动力部件包括换能器与调心球轴承；多自由度定位平台通过机架安装在机床上，负载调节部件通过机架安装在动平台上，超声动力部件安装在轴承基座上，夹具部件的夹具顶端与换能器的底端固定连接，夹具底端安装在保持环中为转动连接，保持环放置在研磨盘或抛光垫上，研磨盘或抛光垫安装在机床上，超声动力部件与超声波数字电源信号线连接。