发明公开
CN108866509A 用于腔室部件的金属氧氟化物膜
无效 - 撤回
- 专利标题： 用于腔室部件的金属氧氟化物膜
- 专利标题（英）： METAL OXYFLUORIDE FILMS FOR CHAMBER COMPONENTS
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申请号： CN201810443707.8申请日： 2018-05-10
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公开(公告)号： CN108866509A公开(公告)日： 2018-11-23
- 发明人: 邬笑炜 , D·芬威克 , 詹国栋 , J·Y·孙 , M·R·赖斯
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 汪骏飞; 侯颖媖
- 优先权： 62/504,470 20170510 US 15/965,810 20180427 US 15/965,812 20180427 US 15/965,813 20180427 US
- 主分类号： C23C16/40
- IPC分类号： C23C16/40 ; C23C16/455 ; C23C16/56 ; C23C4/134 ; C23C4/11 ; C23C4/18
摘要：
一种制品，包括具有涂层的主体。所述涂层包括通过在钇基氧化物涂层上进行氟化工艺或者在钇基氟化物涂层上进行氧化工艺产生的Y‑O‑F涂层或其他钇基氧氟化物涂层。
IPC分类:
