发明公开
CN108807612A 一种发光二极管制备方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种发光二极管制备方法
- 专利标题(英): LED (light emitting diode) preparation method
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申请号: CN201810665065.6申请日: 2018-06-26
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公开(公告)号: CN108807612A公开(公告)日: 2018-11-13
- 发明人: 汤福国 , 闫宝华 , 彭璐 , 李晓明 , 王成新
- 申请人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市高新区金马路9号
- 专利权人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市高新区金马路9号
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/20 ; H01L33/40 ; H01L33/44 ; H01L33/46
摘要:
一种发光二极管制备方法,包括如下步骤:a)采用MOCVD法生长发光二极管外延片;b)将窗口层与透明衬底键合处理;c)移除衬底,去除腐蚀阻挡层;d)在欧姆接触金属层上制备电极图形;e)对欧姆接触金属层进行合金处理;f)制成金属反射镜;g)刻蚀负电极区域;h)涂覆绝缘保护层;i)光刻出正电极通道和负电极通道;j)剥离制备出正电极和负电极;k)将透明衬底进行减薄处理,并将透明衬底的边缘进行倒斜角处理;l)将通过步骤a)‑步骤k)制得的发光二极管外延片进行切割、测试。在更换透明衬底的同时,制备内置金属反射镜,稳定性极大提升,提高了光提取效率,不会出现后期封装材料老化导致的吸光。绝缘保护层的利用可以做到正负电极同高,有效提升封装良率。
IPC分类: