一种发光二极管制备方法
摘要:
一种发光二极管制备方法,包括如下步骤:a)采用MOCVD法生长发光二极管外延片;b)将窗口层与透明衬底键合处理;c)移除衬底,去除腐蚀阻挡层;d)在欧姆接触金属层上制备电极图形;e)对欧姆接触金属层进行合金处理;f)制成金属反射镜;g)刻蚀负电极区域;h)涂覆绝缘保护层;i)光刻出正电极通道和负电极通道;j)剥离制备出正电极和负电极;k)将透明衬底进行减薄处理,并将透明衬底的边缘进行倒斜角处理;l)将通过步骤a)‑步骤k)制得的发光二极管外延片进行切割、测试。在更换透明衬底的同时,制备内置金属反射镜,稳定性极大提升,提高了光提取效率,不会出现后期封装材料老化导致的吸光。绝缘保护层的利用可以做到正负电极同高,有效提升封装良率。
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