光学角度测量方法
摘要:
本发明公开了一种光学角度测量方法,包括以下步骤,第一步,待测元件就位;第二步,将待测面的表面法线过渡至第一反射镜上;第三部,将待测面的表面法线过渡至第二反射镜上;第四步,对第二反射镜进行准直;第五步,转动第二反射镜,并通过自准直仪测出其转动角度;第六步,对第二反射镜进行准直;第七步,多次重复第五和第六两步中的操作,依次测出第二反射镜转动的角度,直至自准直仪经由第一反射镜和第二反射镜的反射面反射回的叉丝像均出现在自准直仪的视场内时停止,最后计算两待测面夹角。本方法利用微分思想,使得利用自准直仪测量超视场大角度成为可能,同时为非接触式测量,不会对元件表面造成破坏污染,可靠性安全性好,精度高。
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