- 专利标题: 一种可切换匹配网络及电感耦合等离子处理器
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申请号: CN201811065920.6申请日: 2018-09-13
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公开(公告)号: CN108712813B公开(公告)日: 2019-01-04
- 发明人: 赵馗 , 饭塚浩 , 倪图强 , 庞晓贝
- 申请人: 中微半导体设备(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
- 专利权人: 中微半导体设备(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中微半导体设备(上海)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
- 代理机构: 上海元好知识产权代理有限公司
- 代理商 包姝晴
- 主分类号: H05H1/46
- IPC分类号: H05H1/46
摘要:
本发明公开了一种可切换匹配网络及电感耦合等离子处理器,所述可切换匹配网络能够在两个射频偏压频率之间进行选择。该匹配网络特别适用于电感耦合等离子体处理器。所述可切换匹配网络包括:第一匹配电路,其具有连接至第一信号源的第一输入端口和耦合至负载的第一输出端口;第二匹配电路,其具有连接至第二信号源的第二输入端口和耦合至所述负载的第二输出端口;开关装置,其具有第一至第三连接点,所述第一连接点连接至所述第一输入端口,所述第二连接点连接至所述第二输出端口;以及,可变电容器,其连接在电接地端和所述开关装置的所述第三连接点之间。
公开/授权文献
- CN108712813A 一种可切换匹配网络及电感耦合等离子处理器 公开/授权日:2018-10-26
IPC分类: